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当今时代，永磁直线电机在高速度、高精度、高载荷的运动控制中应用广泛，同时也带来了更多的模型不确定性和更强的外部扰动问题。因此，兼顾高动态和高精度的运动控制指标，降低上述问题带来的影响是至关重要的。　　《有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法》以尖端精密设备——光刻机中的双工件台系统为研究背景，针对有铁芯直线电机存在的推力波动问题，进行了深入的理论分析和扰动补偿方案研究。　　《有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法》可作为从事精密机电系统研发的科研人员和工程师的参考书。