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微细加工与微纳加工技术是当前发展最快的技术之一，已广泛应用于机械、微电子、材料、机电、化工、能源、航空航天、通信、生物技术、医疗卫生、军事等领域。本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书分别介绍了微切削加工技术，微细电加工技术，激光的微纳米加工技术，面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术，纳米机械加工原理、方法与实现；还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。本书内容丰富、语言精练，具有较强的实践指导意义和实用价值。本书可供机电、微电子、新材料、通信、能源、化工等领域的科研人员、技术人员阅读或参考，也可作为相关专业大专师生的教学参考书。