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本书系统地论述了先进干涉检测技术所涉及的各方面光学原理及其应用。主要内容包括:干涉检测相关光学原理、常用干涉仪、共路干涉仪、剪切干涉仪、点衍射干涉仪、位相调制技术、非球面检测技术、干涉光谱技术、干涉图处理技术等。本书可作为光电信息科学与工程相关专业本科及研究生的专业课教材,也可作为光学精密仪器及光机电一体化相关科研工作者的参考书。
本书系统地论述了先进干涉检测技术所涉及的各方面光学原理及其应用。主要内容包括:干涉检测相关光学原理、常用干涉仪、共路干涉仪、剪切干涉仪、点衍射干涉仪、位相调制技术、非球面检测技术、干涉光谱技术、干涉图处理技术等。本书可作为光电信息科学与工程相关专业本科及研究生的专业课教材,也可作为光学精密仪器及光机电一体化相关科研工作者的参考书。
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